无尘烤箱技术指标
1.产品特点：
◆ 内、中桶材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外膛采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) ；
◆ 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE；
◆ 耐高温，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃；
◆ 叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。
2.无尘烤箱适用范围： LCD、CMOS、IC制程烘烤。
3.无尘烤箱技术参数：
型 号 SPQ3-80 SPQ3-100 SPQ3-150
内部容积 80L 100L 125L
内部尺寸 50×40×40 50×45×45 50×50×50
内尺寸表示为：W×H×D 宽×高×深 单位：cm
功率(KW) 3.0 3.5 4.0
系 统 PID智能调节或可编程PID自动调节
温度范围 RT+10℃～200℃
温度偏差 ±1.0℃
波 动 度 ±0.5℃
洁 净 度 100级
内体材料 SU304不锈钢板
外箱材料 SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板（喷塑）
保温材料 超细玻璃棉
加 热 器 镍铬合金电热式加热器
循环系统 轴流风机
控制系统 高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器
标准配置 样品架2层、电源线1条
可选配置 测试孔（￠25m位于门上)、增加的样品架
注：另外可按照客户需求尺寸定做产品。
