随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制备的高纯水
已受到人们普遍欢迎，洁净工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。
洁净工程又称为生产环境和污染控制工程，是近二、三十年来随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科
学技术。对于半导体设备来讲，洁净工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成
电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的洁净工程和设备提出了严格的要求。在大规模集成电路
制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发
展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。
但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药
工业的发展，我国潜在的巨大的洁净工程技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。
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