该系列旋片真空泵可单独使用,亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用,设有气镇阀时,可抽送适量的可凝性气体、湿空气或气水混合气体,但介质中不能含有颗粒状固体物质。
旋片真空泵双级泵工作原理图,它由两个单级泵串联组成。工作时,被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。
当吸入气体压强较高时,一部分气体由排气阀2排出,另一部分气体经低真空级,由排气阀1排出。
当吸入气体压强较低时,虽经高真空级压缩,但排气阀2仍不能打开排气,只能经低真空极继续压缩,由排气阀1排出,因双级泵的极限真空比单级泵高。
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