·全方向隔振功能(Pneumatic Isolator)
隔振空气弹簧以外又安装了水平隔振器具,提高了水平、垂直全方位的隔振性能。
·卓越的衰减效果 (Damping)
以DAEIL公司多年积累的减震控制技术,开发了又固有频率低,又衰减效果显著的系统,可以迅速衰减仪器操作时或搭载仪器,负荷变动时的上板(Optical Top)振动,使它瞬间静止,提高了仪器的操作性。
·新上板 (New Top Plate)
提高了原有上板的刚性,提升了上板的一次共振频率,内部附上特殊吸振材料与钢板提高了衰减特性。有两种即:粘贴吸振材料与钢板合成物(Composite)的不锈钢上板(Stainless Steel Laminate)和中间为蜂窝芯两边粘贴钢板的蜂窝芯上板。
·上板隔离的作用空间 (Top Cover and Work Space)
放置精密仪器的隔振上板与作业桌面分离,上板上留有可以放置作业物或检查物等对振动不太敏感的仪器(电脑、显示器等)的作业空间,提高了使用功能及作业效率。
·自动保持水平 (Auto Levelling System)
放置的仪器负荷或位置产生变化时,可通过三个水平调整阀,自动调整各空气弹簧内部的气压,能够自动保持水平。
DVID系列-C型
作为半导体FAB用,可在Class 1洁净的室内环境中使用
所有材料均用不锈钢制作,可防腐蚀或退色问题。
安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具。
为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板。
打磨焊接珠等粗糙物,便于使用擦拭器,不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位。 用途
探针台 |
显微镜
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Mask aligner
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A.F.M
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S.T.M
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薄膜厚度形状测定仪
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其它半导体相关检验装备
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固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
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隔振效率:
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at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
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水平复位精度 : Repeatability : ±1.2㎜ / ±0.05㎜
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静负载 : 500kg
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自重 : 150 ~ 250kg
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材料 :
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支架及顶部:不锈钢
顶盖:不锈钢
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工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮)
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID- C-45
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400 × 500
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DVID- C-56
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500 × 600
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DVID- C-57
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500 × 700
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DVID- C-66
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600 × 600
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DVID- C-67
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600 × 700
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DVID- C-68
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600 × 800
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DVID- C-69
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600 × 900
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DVID- C-77
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700 × 700
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID- C-86
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800 × 600
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DVID- C-88
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800 × 800
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DVID- C-97
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900 × 700
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DVID- C-99
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900 × 900
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DVID- C-106
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1000 × 600
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DVID- C-1075
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1000 × 750
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DVID- C-129
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1200 × 900
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DVID- C-158
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1500 × 800
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DVID系列-L型
是研究室用,在国内首次安装了水平隔振器具,提高了水平/垂直全方位的隔振性能。
采用三聚氰胺上板(Top Cover),具有与一般台子一样的美观。
作业部分与隔振部分相分离,便于使用。
安装有小脚轮,需变更室内布局时移动方便。
可选择各种附件选项,能达到多种功能和充分利用空间。
用途
表面粗糙度/真圆度 (Roughness/Roundness Tester) 测定仪
Vision System
光学显微镜 (Optical Microscope)
万能测试仪
其它精密仪器
规技术条件
固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
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隔振效率:
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at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
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水平复位精度 : Repeatability : ±1.2㎜ / ±0.05㎜
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静负载 : 500kg
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自重 : 150 ~ 250kg
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材料 :
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支架及顶部:钢管,沙化处理
顶盖:三聚氰胺 精抛光台板
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工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮)
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C/L : 按洁净室用 (C Type)及通常用(L Type)区分。
产品型号描述
L1为桌子部分的尺寸
备注:
1.C/L : 按洁净室用 (C Type)及通常用(L Type)区分。
2.上图中86-size为隔振部分的尺寸。L/R表示为隔振部分的左右位子。
Model No.
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Size(W×D)
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DVID- L-45
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400 × 500
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DVID- L-56
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500 × 600
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DVID- L-57
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500 × 700
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DVID- L-66
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600 × 600
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DVID- L-67
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600 × 700
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DVID- L-68
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600 × 800
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DVID- L-69
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600 × 900
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DVID- L-77
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700 × 700
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID- L-86
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800 × 600
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DVID- L-88
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800 × 800
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DVID- L-97
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900 × 700
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DVID- L-99
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900 × 900
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DVID- L-106
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1000 × 600
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DVID- L-1075
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1000 × 750
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DVID- L-129
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1200 × 900
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DVID- L-158
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1500 × 800
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DVID系列-H型
采用光学实验用的蜂窝芯式(Honeycomb Breadboard)的高刚性上板。
为固定光学仪器或配件的Top Hole(M6, 25㎜间距)固定孔。
采用高性能隔振系统(Pneumatic Isolator)的支撑与固定型隔振支撑(Rigid support)形式两种。
为提高操作性及作业效率,在气囊内置阻尼孔,提高了衰减功能。
用途
片夹细胞注射
细胞处理 扫描分光计
其它精密光学实验用(Precision Optical Experiments)
常规技术条件
固有频率和隔振 : 1.2Hz ~ 1.5Hz
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阻尼 : 孔式空气阻尼
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水平方式:3个自动调平阀来自动水平调整。
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水平复位精度 : ±1.2㎜ / ±0.1㎜
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静负载 : 300kg ~ 800kg
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工作气源: 3~5kg/ 压缩空气或氮气瓶
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顶板结构 : 蜂窝内核三层夹芯结构
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内核:强化钢板蜂窝(0.25mm钢箔3.2cm2单元面积)
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表层板:4.0mm厚度430系列高导磁镍合不锈钢,沙化表面处理
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底层板:4.0mm厚度碳钢氧化表面处理
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表面平整度 : ±0.1mm每600mmx600mm
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固定螺孔:公制:M6螺孔 25mm栅格 37.5mm边缘
英制:1/4-20螺孔 1英寸栅格 1.5英寸边缘
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蜂窝式顶板厚度:50t,100t可选
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产品型号描述
备注:
1.上表中H表示蜂巢顶板,96表示规格,(R)表示固定支撑,50表示厚度,M表示米,英制。
2.规格产品以外的尺寸也可按订购参数制作。
3.选项可调架子的大小及数量按订购要求。
Model No.
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Size(W×D)
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DVID-H-96(R)
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900 × 600
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DVID-H-99(R)
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900 × 900
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DVID-H-107(R)
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1000 × 750
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID-H-126(R)
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1200 × 600
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DVID-H-127(R)
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1200 × 750
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DVID-H-129(R)
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1000 × 900
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R : 固定型支撑
单位 : ㎜
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