基本技术规格一览：
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可检测气体
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氦气
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检测模式
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吸枪式+喷枪式，可以切换使用
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检出范围
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5个数量级
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最小可检漏量
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1.0×10-8Pa•m3/s或1.0×10-7mba•l/s
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最大可检漏量
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1.0×10-3Pa•m3/s或1.0×10-2mba•l/s
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最小可检浓度
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He：0.1ppm
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传感器反应时间
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450msec
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包括吸枪管线
在内的反应时间 |
1sec以下
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漏率单位
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Pa•m3/s或mba•l/s或Torr.l/s或SCCM或atm.cc/s或Mol/s或lusec
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启动时间
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3分钟以内
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界面语言
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中文简体/繁体、英文、日文、韩文、德文
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吸枪流量
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1000SCCM
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吸枪功能
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SET,报警，LED显示
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校准功能
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内部校准漏孔+外部手动校准漏孔
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校正模式
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3种校正模式（流量、浓度、大气）
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微渗漏器
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有
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流量监视
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有
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真空排气前级泵
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油旋片泵30L/min
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真空排气主泵
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复合分子泵25L/sec
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真空计
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皮拉尼真空计WP-01、GP-H
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测试口
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NW25
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启动/停止时间
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约3分钟（免校正模式设定时）
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使用温度范围
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10-40℃
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漏率表示
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图表、线性、数字、指针
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测试模式
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自动模式、微漏模式、中漏模式、大漏模式、超微漏模式、吸枪模式等
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阀门操作
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全自动操作与控制
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灵敏度
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校正机器启动时，自动校正。
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归零调整
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自动复零功能
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信息报告
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操作方法、故障信息等通过彩色触摸屏显示（文字和图像）及声音报告。
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尺寸
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480×335×570（吸枪高度70mm）
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重量
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约45Kg（吸枪重量：2.0Kg）
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输入电压
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AC200-220V
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优点：
1.搭载「自由流量选择」专利排气系统。(专利号：2655315）
2.具有校正漏孔的温度、衰减补正功能。（专利号：4057896）
3.机器待机时，前级泵间歇运转的省电功能。（专利号：3947059）
4.对震动.温度监视通知功能。 （专利号：4057896）
5.配备7.5英寸大型彩色触摸屏，操作手段简単，操作过程便于识别。
5-1.搭载6种语言（中文简体/繁体、英文、日文、韩文、德文）等，可根据使用情况，自由选择切换。
5-2.机器启动后自动校正过程显示，校正模式可根据具体情况自由选择。
5-2-1.全部校正包含环境温度、排气系统、离子源、灵敏度等项目。
5-2-2.部分校正可根据情况自由选择。
5-5-3.免校正情况下，进入快速启动模式，3分钟内即可启动。
5-3.校正完毕，一切正常后，语音提示进入测试状态。
4种测试画面（线性、数字、模拟、排气系统图）可自由选择。
5-4.故障履历显示与数据保存搜索功能。
5-5.定期维修信息通知（文字和中文声音提示）。
维修项目、维修顺序、维修网点与联系方式的画面显示。
5-6.I/O核对画面显示。
5-7.机器停止时，TMP（复合分子泵）完全停止确认通知功能。
5-8.设定菜单保存与下载Save&Load。
5-9.可设定密码登录，加强机器安全保护。
6.自动循环测试与时间设定功能，测试数据自动保存，可打印下载。
7.从启动校正-测试-测试完成均为自动控制。
8.起动时灵敏度核对功能，启动后再校正功能。
9.放大器的主板为两块主板，加强了对高温多湿环境的抗干扰能力。