格(长×宽)mm
|
平板、平台精度等级
|
||
1级
|
2级
|
3级
|
|
平面度公差(um)
|
|||
200×200
|
10
|
20
|
50
|
300×200
|
12
|
24
|
60
|
300×300
|
12
|
24
|
60
|
300×400
|
12
|
24
|
60
|
400×400
|
12
|
24
|
60
|
400×600
|
14
|
28
|
70
|
500×500
|
14
|
28
|
70
|
500×600
|
14
|
28
|
70
|
500×800
|
16
|
32
|
80
|
600×800
|
16
|
32
|
80
|
600×900
|
16
|
32
|
80
|
1000×750
|
18
|
36
|
90
|
1000×1000
|
20
|
39
|
96
|
1000×1200
|
20
|
40
|
100
|
1000×1500
|
24
|
48
|
120
|
1000×2000
|
26
|
52
|
130
|
1500×2000
|
28
|
56
|
140
|
1500×2500
|
32
|
64
|
152
|
1500×3000
|
70
|
174
|
|
2000×3000
|
74
|
184
|
|
2000×4000
|
219
|
||
2500×3000
|
186
|
||
2000×4500
|
237
|
||
2000×5000
|
255
|
||
2000×6000
|
292
|
||
3000×6000
|
308
|