岛津X-RAY介绍
采用微焦点X射线发生装置与高灵敏度平板检出器且带有CT功能的X射线检查装置。
模式和CT模式之间顺畅的切换操作能够快速完成观察或截面观察。
另外,设备采用了可实现*自动化校正与高速CT扫描&重建的(Xslicer)系统。
通过没有变形的,放大倍速而且具有高清晰度的图像
能够对电子器件等平板形状样品的细微内部结构和缺陷进行观察。
岛津X-RAY
辅助检查的驱动系统
高速XYZ载物台
通过±180°的旋转·0–60°倾斜结构可迅速到达检查点
搭载了焦点X射线发生装置
搭载了管电压160KV·1µm分辨率开放管X射线发生装置。
实现了高压发生器一体化,无需进行高压电缆维护。
自动调整功能,使更换灯丝更简单。
XslicerSMX-6000
*的安全性
通过屏蔽X射线的防护措施来防止X射线泄露。
X射线检出器的周围搭载了碰撞感知传感器,当紧急情况发生时(样品快要碰到检出器时)系统停止驱动系统运行。
正门锁的设计,可让正门在X射线发射时处于关闭状态。另外,通过互锁设计,当门处于开启状态时能够保证不发射X射线以及驱动系统不运行,从而确保安全。
根据样品高度设置软件限位功能可防止样品与平板检出器发生碰撞
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