科研实验专用 一氧化硅靶材SiO磁控溅射靶材电子束镀膜蒸发料
产品介绍
一氧化硅(SiO)常温常压下为黑棕色至黄土色无定形粉末,难溶于水,能溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸中并放出四氟化硅,熔点:1702°C,沸点:1880°C,密度2.13g/cm³,一氧化硅不太稳定,在空气中会氧化成二氧化硅膜而钝化,仅在高于1200℃才稳定;在氧气中燃烧,和水反应生成氢气。一氧化硅微粉末因极富有活性,可作为精细陶瓷合成原料,如氮化硅、碳化硅精细陶瓷粉末原料;用作光学玻璃和半导体材料的制备;在真空中将其蒸发,涂在光学仪器用的金属反射镜面上,作为保护膜;半导体材料的制备。
产品参数
中文名 一氧化硅 化学式 SiO 分子量 44.08
熔点 1702℃ 沸点 1880℃ 密 度 2.13g/cm3
纯度 99.99% 外观 黑棕色至黄土色无定形粉末
支持靶材定制,请提供靶材产品的元素、比例(重量比或原子比)、规格,我们会尽快为您报价!!
服务项目:靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位货到付款,质量保证,售后无忧!
产品附件:发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真空包装
适用仪器:多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备
质量控制:严格控制生产工艺,采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段,分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度;可提供质检报告。
加工流程:熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库
陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差,连续长时间溅射易发生靶裂情况,绑定背靶后,可提高化合物靶材的导热性能,提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您,选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶!
我公司采用高纯铟作为焊料,铟焊厚度约为0.2mm,高纯无氧铜作为背靶。
注意:高纯铟的熔点约为156℃,靶材工作温度超过熔点会导致铟熔化!绑定背靶不影响靶材的正常使用!
建议:陶瓷脆性靶材、烧结靶材,高功率下溅射易碎,建议溅射功率不超过3W/cm2。