低温等离子废气处理污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
低温等离子废气处理设备在投入工业生产中后，能够有效地利用氯酸盐进行电解和分解有害物质，以超强的吸附功能进行空气净化处理。当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
由此可见，低温等离子废气处理设备在功能上具有净化空气和调节环境的作用，并且它的组成零件还将朝着多技术型领域不断发展。
低温等离子废气处理技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
