◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1903(W)×980(D)×2075(H)mm
◆ 仓体结构(铝,约800升)600(W)×840(D)×800(H)mm
◆ 处理材料材料直径:最大400mm ,材料宽度:100mm
◆ 等离子发生器(美国MKS)频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台(前级泵可选配爱德华干泵)
英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
◆ 充气系统美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件