特征:
直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm
应用:
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机
数控系统作为机床加工设备的一类,运行稳定性、切割精度以及使用寿命是最受关注的几大问题,但对hiwin导轨系统的关注较少。但直线导轨为机床功能的实现奠定了可靠的基础。各种类型的机床工作部件,都是利用控制轴在指定的导轨上运动,机床设计者根据机床的类型和用途选用各种不同形式的导轨系统,用得较为广泛的有下列三种;即平面导轨、直线滚动导轨和循环滚柱与平面导轨的组合所构成的滚动体导轨。
尽管hiwin直线导轨系统的形式是多种多样的,但工作性质都是相同的,机床工作部件在指定导轨系统上移动,尤如火车沿着铁轨在指定的方向上行驶。主要体现如下三种基本功能:为承载体的运动导向;为承载体提供光滑的运动表面;把机床的切削所产生的力传到地基或床身上,减少产生的冲击对被动加工零件的影响。