产品型号规格
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JR-SML20/30
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JR-SML40/100
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JR-SML50/100
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JR-SML60/100
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JR-SML90/160
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额定装模尺寸
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120*120
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255*255
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330*330
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400*400
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550*550
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恒定炉温
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3000℃
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3000℃
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2850℃
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2850℃
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2800℃
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极限炉温
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3000℃(可完全满足高导热膜的石墨化)
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控温方式
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采用日本SHIMADEN(岛电)温控仪
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有效工作区(mm)
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Φ200*300
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Φ400*1000
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Φ500*1000
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Φ600*1000
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Φ900*1600
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根据客户要求,可以优选配置。
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1.触摸屏或工控机全自动控制和记录工艺参数。PLC可编程与触摸屏显示系统,智能温控表与PLC实现数据通讯。
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2.数字式流量监控系统,每一路水由流量计监控。
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3.根据真空度的要求加配罗茨泵,真空度可达40Pa
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4.为了工人值守轻松,增加进出气自动平衡系统。(质量流量控制仪准确控制进入炉内各种气体流量,压力控制仪准确控制炉内气氛压力。
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5.收集焦油采用双级冷凝脱焦过滤器净化真空排放气体,有效保护真空泵运转正常。
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6.高性能气体净化器,可将气体氧含量降至1PPMV,露点温度可降至-70℃。
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7多功能操作台可实现远程控制,最远20米距离
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