耐腐蚀真空机组是以真空泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。耐腐蚀真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差，机组的极限压力比水环泵有很大的提高，在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了真空泵泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。
耐腐蚀真空机组尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下，还可抽除易燃易爆的气体。因此耐腐蚀真空机组广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶；食品行业中的冷冻干燥；医药工业的真空干燥；轻纺工业的涤纶切片；高空模拟试验等的抽真空系统中
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