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测厚仪采用无损仪器检测既不破坏覆层也不破坏基材，检测速度快能使大量的检测工作经济地进行。覆层的厚度测量已成为金属加工工业进行成品质量检测必备的重要的工序。
仪器校验使用电容法一般仅在很薄导电体的绝缘覆层厚度测试上的应用；X射线和β射线反射法可以无接触无损测量，一般多用于各层金属镀层的厚度测量。
仪器校正中最好用的磁性测量法及涡流测量法，在引入微处理机技术后，测厚仪向微型、智能型、多功能、高精度、实用化方面迈进了一大步，测量的分辨率已达0.1μm，精度可达到1％，又有适用范围广，量程宽、操作简便、价廉等特点，是工业和科研使用最广泛的仪器。
还有电解法，称重法，厚度差测量法等大多是会损坏产品或产品表面，为有损检测，测量手段繁琐且速度慢，多适用于抽样检验。
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