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当仪器校验中两种不同材料的金属组成热电偶时，若它的两个结点处于不同的温度，变回产生热电势。如果把其中一个结点置于高频电磁场中，使它吸收高频功率而温度升高，则可通过温差热电势测出高频功率的大小。由于热电偶可做成薄膜形式，因此这种功率计又称为薄膜热电式功率计。
仪器检测在此频率范围内功率座的驻波系数及仪器校准系数是否符合规定的要求。对于通过式功率计，因此应检查在此频率范围内，功率测量准确度是否符合规定的要求，在所测功率值应符合产品规定的准确测定的最小功率到最大功率的范围，通常是在输入最小功率与最大功率时，检查其功率误差是否符合仪器规定的测试准确度。
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