产品简介:
1适用对象:发光二极管芯片
2清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
3 工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
4 设备形式:室内放置型。
5 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
6 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
7机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
8药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统
9 DI槽配有在线式水质检测装置;
10 配有分体式废液回收系统;