半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备等
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产品品牌CSE
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供货总量1111 台
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更新日期2015-08-21 16:46
品牌： |
CSE |
所在地： |
江苏 苏州市 |
起订： |
≥1 台 |
供货总量： |
1111 台 |
有效期至： |
长期有效 |
规格： |
3000*1500*2000mm |
产品别名： |
半导体硅晶圆显影定影机 |
用途： |
半导体分立器件的湿法制程刻蚀 |
产品简介：
本设备可用于半导体工艺中对各种规格尺寸硅晶片进行显影和定影，
整台设备均采用德国进口PP材料，经雕刻后组合焊接加工而成。
双排槽构成，每排7槽（根据工艺确定），各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。
每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。
工作区洁净度：100级。槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S，工艺过程为全自动，全程PLC控制，触摸屏操作。
结构设计合理，外型美观。适用于微电子半导体行业，也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。
非标规格，具体规格依客户工艺确
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