反渗透+混床超纯水设备,工业用反渗透+混床超纯水设备系统工程
内容提示：
采用反渗透水处理设备与混床离子交换设备进行组合的方式制取工业用超纯水工艺的原理是：以反渗透出水做为二级原水，加压进入混床离子交换柱，制取满足工业生产所需的高纯水，最终出水水质电阻率≥15MΩ.cm。此工艺最常用的工艺流程为：原水池→原水增压泵→砂滤→炭滤→软水器→精密过滤器→缓冲水箱→反渗透设备→纯水箱→增压泵→混床（复床）→超纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。采用此工艺流程超纯水系统可适用各种原水水源。
反渗透+混床超纯水设备系统是现代电子工业，如：半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路等行业制备纯水、超纯水最常用、最实用的系统工艺。
一、现代工业用纯水的分类
工业纯水处理设备主要用于工业用水的净化处理，使工业用水达到或超过国家或行业标准，保证工业用水质量。操作方式：手动控制或全自动控制。
各种工业用水，按其使用方式可分为直接用水和间接用水两大类。直接用水，系要求优良的水质；间接用水，对产品质量一般没有影响，出于防腐和防垢等的要求不同，而需要采用不同的水质。
1、原料用水。原料用水是指直接作为原料或作为原料的一部分而使用的水。在饮料、食品加工工业中，水质对产品质量影响较大，最好的水质应无色、无味、无浊，盐类含量适当，氨、氮、亚硝酸盐、细菌等则要求优质的纯水。
2、产品处理用水。指在生产过程中用作洗涤、漂染、打浆等，故也要求较好的水质。其水质要求大致与原料用水相同。电子工业等用水则要求优质的纯水。
3、锅炉用水。由于水的硬度高会使锅炉内结垢，致使锅炉热效率降低；溶解氧和盐类会引起锅炉及管路的腐蚀；因此，锅炉对水的硬度、含盐量、碱度、等均有严格的指标要求。
4、冷却用水。冷却用水的作用是冷却热介质，所以防止其腐结垢和微生物危害是冷却水处理的三大任务。因此，冷却水的水质，对硬度、悬浮物、溶解气体、油及其它有机物、藻类及微生物等都应严格控制。
三、电子工业用超纯水特点
在现代电子工业高速发展的今天，工业生产对用水的要求也非常高。如半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路等行业就需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
四、几种常用的超纯水制取工艺
1、采用两级反渗透制取超纯水工艺；
2、采用反渗透+离子交换法制取超纯水工艺；
3、采用反渗透+EDI法制取电子工业超纯水工艺 ；
而采用反渗透+混床离子交换系统工艺是现代电子行业工业生产用纯水、超纯水最常用的生产工艺。
五、电子工业用超纯水系统几种常用的工艺流程
电子行业制备超纯水的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水池→原水增压泵→砂滤→炭滤→软水器→精密过滤器→中间缓冲水箱→增压泵→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水池→原水增压泵→砂滤→炭滤→软水器→精密过滤器→中间缓冲水箱→反渗透设备→增压泵→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3、采用反渗透水处理设备+EDI电除离子设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水池→原水增压泵→砂滤→炭滤→软水器→精密过滤器→中间缓冲水箱→反渗透设备→RO水箱→增压泵→EDI设备→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
六、电子工业超纯水设备特点
电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（或EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
七、电子工业用超纯水的应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；
3、实验室和中试车间用超纯水；
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、光电子产品；
6、其他高科技精微产品。
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