微氧分析仪为检验高纯度制程气体中的微量含氧,以确保制程气体的纯度,避免管路泄漏破损渗入大气中的氧气破坏制程品质,增进制程良率,并依各制程对制程气体管路含氧量之要求,进行必要之测试设备。
产品特色-
. 使用顶尖气体感测技术核心燃料电池式微量氧
感测元件,具准确度高及反应速度快,不需特别
保养等特性。
. 适用于氮气、氢气、氩气等还原性气体中微量氧
的侦测。
. 採用4.3”TFT大萤幕显示,可同时显示含氧量、
日期、时间等参数。
. 于全量程范围内可任意设置警报点上、下限。
. 自动记录随时间的氧浓度变化曲线。
. 输出4~20mA标准信号;标准RS485/RS232(选用)
通讯口,可连结RJ45网路、Bluetooth、MicroSD
及USB与电脑双向通讯。